물리 세계·현실 영향파도바대 (Barusco, Dalle Pezze, Susto 외)
집적회로 SEM 이상탐지 비교
집적회로 SEM 이상탐지 비교 — 정상 25,160장·이상 116장. 저자 측정으로 CFA가 image-AUROC 99.01%·image-F1 87.96%, 다만 pixel-F1 최고치는 77.30%
왜 중요한가
결함 라벨 0장으로 이미지 단위 99% AUROC. 결함 클래스가 자주 바뀌는 OSAT에서 결함 수집 단계 자체를 건너뛰는 설계가 SEM 도메인에서 성립함을 보인 공개 비교실험
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논문arxiv.orghttps://arxiv.org/html/2505.07576v12026년 8월 24일에 더한 조각 · 그 주 보기